プロセスウォーターの冷却
半導体製造プロセス では、多くのサブプロセスやユーティリティでの冷却工程が必要になります。アルファ･ラバル製プレート式熱交換器の広範な製品ラインナップの中から、さまざまな条件に対応するモデルを見つけることができます。
半導体製造業での一般的な製造方法では適切な温度に制御された大量の超純水（UPW）およびプロセス冷却水（PCW）が消費されます。アルファ･ラバルのプレート式熱交換器 は、さまざまな条件でのニーズに対応します。ここでは、ガスケットプレート式熱交換器の製品ラインナップに含まれる製品が主に使用されています。